피부 임피던스 측정 시스템 기술
실리콘 기판의 중심점에서 일정 간격으로 배열되는 전극쌍의 구조로서, 절연층, 접착층(adhesion layer) 및 금을 재질로 하는 전극층이 형성된 구조를 가지며, 4개 쌍의 전극을 갖는 평면형 소형 전극 센서(NPSES: Novel Planar Small Electrode Sensor)는 생물학적 활성 포인트(Biological Active Points:BAPs)들의 전기적 특성을 측정하기 위해 착안되었음
반도체 기판; 상기 기판 상부에 형성된 절연층, 상기 절연층 상부 중심점을 기준으로 대칭적으로 적어도 하나의 쌍으로 형성된 전극쌍을 포함하되, 상기 전극쌍은 기준전극 및 측정전극인 특징을 가짐
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